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仪器特点
四轴CNC控制,自动寻边、自动测量、自动对焦
采用移动桥式精密花岗岩架构,满足高精度,高稳定性
高精度0.5um分辨率进口开放光栅系统
全闭环伺服运动控制系统,速度快、精度高
摇杆/鼠标操作,可单独或协同控制
表面光源为程控5环8区LED冷光源,平行轮廓光源,亮度均连续可调
根据客户工件的具体情况,提供不同的照明组合
可聚焦测高,可加装接触式测头和激光测头模组
可以按照客户需求提供定制化设计
技术参数
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